​真空泵机组是由多种真空泵组合而成的真空获得设备，其目的是在特定的工作条件下，能够获得比单一真空泵更低的压力、更大的抽气速度或者更适合的真空环境。
启动前的准备要点
检查设备连接与完整性
仔细检查真空泵机组各部件之间的连接是否牢固，包括管道、阀门、法兰等的连接。确保真空管道无裂缝、无泄漏，所有的连接件都已拧紧，密封良好。例如，检查法兰连接处的密封垫片是否安装正确，有无破损，以防止空气泄漏进入真空系统。
确认真空泵机组的所有组件齐全且完好，如主真空泵、前级真空泵、电机、仪表等设备外观无损坏，电线连接正常，各个真空泵的油位（如果是油封真空泵）处于合适的位置。对于油位检查，要查看油窗，油位应该在标记的上下限之间，以保证真空泵的正常润滑。
系统清洁与干燥检查
确保被抽系统和真空泵机组内部清洁、干燥。因为杂质和水分可能会影响真空泵的性能，甚至损坏真空泵。在启动前，可以使用干净的压缩空气或氮气吹扫真空系统和真空泵机组，去除可能存在的灰尘、碎屑等杂质。
检查系统中是否有残留的液体，如果有，需要清除。特别是对于可能与真空泵工作液发生反应的液体，如强酸、强碱等，必须彻底清除，以避免损坏真空泵。
阀门状态检查与设置
确认所有阀门处于正确的初始状态。进气阀应关闭，防止空气在启动时大量进入系统；排气阀应打开，确保真空泵能够顺利排出抽出的气体。对于一些带有旁通阀的系统，要根据具体的操作要求设置旁通阀的状态，例如在启动前可能需要关闭旁通阀，以保证系统的正常抽气路径。
真空测量仪表校准与检查
检查真空测量仪表是否正常工作，并且进行校准（如果需要）。使用标准的真空校准设备或者已知真空度的参考系统，对热偶真空计、电离真空计等仪表进行校准，确保测量的准确性。仪表的读数应该能够准确反映系统的真空度，这对于监控真空泵机组的工作状态至关重要。
启动过程要点
顺序启动真空泵
按照正确的顺序启动真空泵。一般先启动前级真空泵，因为它可以预先降低系统压力，为启动主真空泵创造条件。在启动前级真空泵后，观察其运行状态，如电机的转速、泵的声音等是否正常。当系统压力降低到主真空泵的启动压力要求后，再启动主真空泵。例如，对于以旋片真空泵为前级泵、扩散泵为主泵的机组，当旋片真空泵将系统压力抽到低于 10 - 1 帕后，才能启动扩散泵。
关注启动电流与电压
在启动真空泵时，密切关注电机的启动电流和电压。启动电流不应超过电机的额定电流，否则可能会损坏电机或电气设备。如果启动电流过大，可能是电机负载过重或者存在电气故障，需要立即停止启动并检查原因。同时，确保供电电压稳定在真空泵机组要求的额定电压范围内，电压波动过大可能会影响真空泵的正常运行。
检查真空系统初始压力变化
启动真空泵后，观察真空系统的初始压力变化。真空测量仪表应该显示压力逐渐下降，如果压力没有下降或者下降速度过慢，可能是真空泵机组存在漏气、阀门未正确开启或者真空泵本身故障等问题。此时需要对系统进行检查，如使用检漏仪检查系统是否漏气，检查阀门的开闭状态等。
运行过程要点
监测真空度与抽气速度
持续监测真空系统的真空度，确保其达到并维持在所需的工作真空度范围内。根据不同的应用场景，对真空度的要求也不同。例如，在半导体制造的某些工艺中，要求真空度达到 10⁻⁶帕甚至更低。同时，关注抽气速度，抽气速度应符合系统设计要求。如果真空度无法达到设定值或者抽气速度明显下降，可能是系统漏气、真空泵性能下降或者气体负载增加等原因导致的，需要及时检查和处理。
观察设备运行状态（温度、声音、振动等）
注意观察真空泵机组各设备的运行温度。例如，油封真空泵在运行过程中，泵体温度会升高，但不应超过规定的温度范围。如果温度过高，可能是泵的润滑不良、电机过载或者散热不畅等原因引起的。同时，注意听设备运行的声音，正常情况下真空泵运行声音平稳，若出现异常噪音，如尖锐的摩擦声、撞击声等，可能表示真空泵内部部件磨损或者有异物进入。另外，还要关注设备的振动情况，过度振动可能是由于真空泵安装不平衡、电机故障或者连接部件松动等原因导致的。
检查工作液（如果有）状态
对于使用工作液的真空泵（如扩散泵），要定期检查工作液的状态。包括工作液的液位、颜色和清洁度等。液位过低会影响真空泵的性能，需要及时补充工作液。如果工作液颜色变深或者出现杂质，可能会降低真空泵的效率，甚至损坏真空泵，需要更换工作液。同时，要确保工作液的循环系统正常工作，如循环泵正常运转，管道无堵塞等。
定期记录运行参数
在真空泵机组运行过程中，定期记录真空度、抽气速度、设备温度、电流、电压等运行参数。这些记录可以帮助分析真空泵机组的性能变化趋势，及时发现潜在的问题。例如，通过比较不同时间的真空度和抽气速度记录，可以判断真空泵是否逐渐老化或者系统是否存在逐渐加重的漏气情况。
停机过程要点
顺序停机真空泵
停机时，应按照与启动相反的顺序关闭真空泵。首先关闭主真空泵，待主真空泵完全停止后，再关闭前级真空泵。这样可以避免主真空泵在高真空状态下突然暴露在大气压下而损坏。例如，对于高真空系统，在关闭扩散泵后，要等待扩散泵冷却，内部压力恢复到一定程度后，再关闭旋片真空泵。
放空系统压力（如果需要）
在某些情况下，停机后需要将真空系统中的压力放空。可以通过缓慢打开进气阀，让空气逐渐进入系统，使系统压力恢复到大气压。在放空过程中，要注意控制进气速度，避免过快的压力变化对系统造成冲击。例如，对于一些对压力变化敏感的真空设备，如精密的真空镀膜设备，过快的压力恢复可能会导致镀膜层脱落或者设备内部部件损坏。
清理与维护工作准备
停机后，可以为后续的清理和维护工作做准备。例如，准备好清洁工具、检查和更换所需的零部件等。同时，在停机后，设备可能还处于高温状态，要注意防止烫伤，等待设备冷却后再进行清理和维护操作。