真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

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1. 物理法

使用物理法进行抽真空的一般是吸附泵、吸气剂泵以及吸气剂离子泵。吸附泵通过大面积的吸附剂覆盖吸附的方式获取真空，是一种捕集真空装置；吸气剂泵则是利用吸气剂（一般是块状或者沉积式新鲜薄膜形式存在）捕获气体，进行抽真空；吸气剂离子泵将气体电离，再通过电场、磁场的作用达到吸附在材料表面的目的，从而实现抽气，又分为两种，一种是蒸发离子泵，被电离的气体持续或者以间断的升华从而被吸附，另外一种是溅射离子泵，被电离的离子，被吸附在由阴极持续溅射出来的吸气材料上，实现吸气。

2. 机械法
使用机械法抽真空的也有两种类型的泵，一种是变容真空泵，一种动量传输泵。变容真空泵通过泵的容腔容积的变化完成吸气和排气的过程，达到抽气的目的，分为复式和旋转式两种。
还有就是动量传输泵，通过高速旋转的叶片或者高速的射流，气体分子接收到这种动量，这种动量将气体连续的输送，包括分子真空泵、水蒸汽喷射泵以及扩散泵等。

无论是物理法还是机械法获取真空，油封式真空泵都需要使用真空泵过滤器，才能符合环保部门的排放标准。