真空泵机组通常由一个或多个主泵和前级泵串联而成，其中主泵负责主要的抽气工作，而前级泵则用于创造主泵所需的预备真空。

常见的组合包括水环真空泵与罗茨泵的组合，其中水环泵作为前级泵，罗茨泵作为主泵。

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真空泵机组具有诸多优点，如抽气速度快、极限真空度高、能处理大量可凝性蒸汽等，这些优点使其广泛应用于以下领域：
化工行业：用于真空蒸馏、真空蒸发、脱水结晶等工艺过程。
食品行业：在冷冻干燥过程中发挥重要作用。
医药工业：用于真空干燥等制药工艺。
轻纺工业：在涤纶切片等生产环节中也有应用。
高空模拟试验：在需要模拟高空环境的试验中，真空泵机组也是不可或缺的设备。