真空泵机组的工作原理基于排气原理，通过泵的运转将容器内气体排出，从而形成一定的真空环境。

​

主要工作原理包括机械泵原理、分子泵原理和涡流泵原理，机械泵通过动力传递给泵机构，使泵运转，从而通过叶轮和流道进行气体吸入和排放；分子泵通过高速旋转的转子使气体分子得到高速撞击，从而将气体分子排出真空室；涡流泵则是通过偏心转子和静子之间的空隙产生的涡流来实现气体排放。
在选型真空泵机组时，需要考虑抽气速率、最终真空度、气体种类和压力范围等因素，同时，使用真空泵机组时需要注意以下几点：
在正常运转前，应检查真空泵有无异常振动及冲击声响，初次使用的真空泵还需测定极限压强。
需要通冷却水的机械真空泵，在开机前应先通冷却水，然后再启动。
安装真空泵时，应检查电机是否正转，真空设备应安装在清洁、干净的环境里。
长时间停机启动真空泵前，应断续多次启动真空泵，以防止坚硬物质落入真空泵内划伤运动部件。
真空泵在工作过程中，应定期更换润滑油，检查轴套的磨损情况。