真空泵系统是由二台或二台以上的真空泵及其他附件组合而成的系统，旨在完成所需的真空度目标。

​

具体的真空泵系统选择和应用可能会根据半导体制造的特定需求和工艺条件而有所不同，真空泵系统在半导体行业中具有广泛的应用，主要用于以下几个方面：
清洁的半导体制造过程：真空泵，如罗茨真空泵，采用无油设计，与传统的润滑油真空泵相比，不会因油气回流而导致污染。这使得半导体生产过程更加清洁，减少了对产品质量的影响。
高效的真空抽取：真空泵，特别是罗茨真空泵，采用双叶轮结构，其工作原理独特且高效，在半导体制造中，它可以有效地抽取大量的气体，保证生产设备处于所需的低真空状态，提高生产效率。
创建稳定的真空环境：在半导体薄膜沉积过程中，需要建立一个低压环境，以促使薄膜材料均匀沉积在基片表面上，真空泵通过抽取气体并维持一个稳定的真空环境，可以有效地控制反应室内的压强，从而保证薄膜沉积过程的稳定性和一致性。
离子注入过程：离子注入是半导体工艺中常用的一种加工方法，广泛应用于芯片制作、武器装备、医疗设备等领域，真空泵在离子注入过程中起到重要作用，确保过程的稳定进行。
铝氧化膜制备：铝氧化膜是一种有着极高绝缘性能和机械强度的薄膜材料，广泛应用于半导体器件的制造中，真空泵在铝氧化膜的制备过程中也发挥着关键作用。