油式真空泵的工作原理是利用机械方式将气体抽出，从而形成真空，其工作过程可以大致分为两个阶段：压缩阶段和排气阶段。

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在压缩阶段，入口处的气体经过特殊的干式过滤器过滤掉灰尘、铁屑、颗粒等杂质，并将气体压缩进入泵体内部，泵体内的气体被抽出，形成真空。转子在泵体内旋转，将气体压缩并排出泵体。
同时，气缸和活塞也起到了重要的作用，气缸内的气体被压缩，然后通过气阀排出泵体，活塞则负责将气体压缩并排出泵体。
在排气阶段，当气体被压缩后，通过气阀排出泵体，随着继续输入气体，油泡越来越大，最终沉积回毛细管中，油式真空泵使用外置机械压力泵作为替代，以从油盒中除去加热引起的液态污染物，外置机械泵以高速旋转的方式将油泡压缩，以保证压强的稳定性。
油式真空泵具有以下优势：
极限真空度高：由于油封式真空泵能够用油将相向运动的零部件和排气阀零件间密封起来，并将有害空间充填，使得高压气体反扑的机会少得多，密封性能也就好得多，所以泵能达到较高的真空度。
抽速大、体积小：油封式真空泵的抽速大、体积小，具有较高的性价比。
可靠性高：油真空泵公司的泵采用双级油循环结构，使泵内的真空度得到进一步升高，同时还可以降低对工作介质的污染和损害，泵的压缩比大，泵头的设计结构紧凑，使泵的抽速得到了进一步的提高。
综上所述，油式真空泵具有极限真空度高、抽速大、体积小、可靠性高等优势。